一、設備運行狀態確認

1. 檢查還原爐各系統運行參數是否處于標準范圍內

2. 排查壓力表、溫度傳感器等關鍵儀表的異常讀數

3. 確認冷卻系統、電源模塊及密封裝置無故障報警

二、氫氣氣源準備工作

1. 采用純度≥99.999%的電子級氫氣

2. 通過露點儀檢測氣源含水量（要求≤-70℃）

3. 使用氣體分析儀驗證無氧、氮等雜質氣體混入

三、安全隔離閥操作規范

1. 依次關閉還原爐進氣總管緊急切斷閥

2. 手動鎖緊尾氣排放管線的雙重隔離閥

3. 驗證閥門關閉狀態通過壓力差檢測法（保持30分鐘壓降≤5%）

四、氫氣注入實施步驟

1. 定位還原爐頂部設計的專用注氫接口

2. 使用防爆工具緩慢開啟注氫閥（開度控制在25%/分鐘）

3. 通過質量流量計調節進氣速率（標準值為8-12Nm3/h）

4. 實時監控爐內壓力變化（操作壓力范圍0.2-0.5MPa）

五、操作人員資質要求

1. 需持有特種設備作業人員證（壓力容器操作類別）

2. 完成還原爐廠家提供的專項技術培訓

3. 熟悉《多晶硅生產安全操作規程》的應急處理條款

整個操作過程必須配備可燃氣體檢測儀，嚴禁單人作業。若發現壓力異常波動或密封部位泄漏，應立即啟動緊急泄壓程序。