一、核心技術(shù)能力驗(yàn)證

還原爐的硅沉積效率與能耗表現(xiàn)直接取決于制造商的氣流設(shè)計(jì)、溫度控制等核心技術(shù)。需重點(diǎn)考察廠商是否擁有自主專利的熱場模擬技術(shù)，以及是否具備針對不同硅源（TCS/SiH4）的工藝適配能力。要求供應(yīng)商提供實(shí)際生產(chǎn)數(shù)據(jù)證明其設(shè)備硅轉(zhuǎn)化率≥85%，電耗≤45kWh/kg。

二、生產(chǎn)資質(zhì)與產(chǎn)能評估

合規(guī)性審查應(yīng)包含ISO9001/14001體系認(rèn)證、壓力容器制造許可證等強(qiáng)制性資質(zhì)。現(xiàn)場審核需確認(rèn)廠房面積不小于20000㎡，具備數(shù)控加工中心等精密制造設(shè)備，月產(chǎn)能應(yīng)達(dá)到10臺(tái)以上以保障交付時(shí)效。

三、全周期服務(wù)保障體系

完善的售后網(wǎng)絡(luò)應(yīng)包含48小時(shí)應(yīng)急響應(yīng)機(jī)制、區(qū)域性備件倉庫（備件庫存率≥95%）、每季度預(yù)防性維護(hù)服務(wù)。需特別關(guān)注控制系統(tǒng)軟件的遠(yuǎn)程診斷功能和版本升級承諾。

四、市場口碑?dāng)?shù)據(jù)采集

通過行業(yè)協(xié)會(huì)獲取設(shè)備故障率統(tǒng)計(jì)報(bào)告（行業(yè)平均≤3%），實(shí)地考察至少3家客戶工廠的運(yùn)行數(shù)據(jù)。重點(diǎn)驗(yàn)證設(shè)備連續(xù)運(yùn)行周期是否達(dá)到180天以上，產(chǎn)品碳含量是否穩(wěn)定控制在0.5ppma以下。

五、全生命周期成本分析

除設(shè)備報(bào)價(jià)外，需綜合計(jì)算能耗差異、維護(hù)頻次、備件消耗等長期成本。優(yōu)質(zhì)供應(yīng)商應(yīng)能提供5年TCO（總體擁有成本）測算模型，其設(shè)備能耗差異應(yīng)控制在行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的±5%范圍內(nèi)。

供應(yīng)商選擇需建立加權(quán)評分模型，建議技術(shù)權(quán)重占40%，服務(wù)與成本各占30%，通過量化評估降低決策風(fēng)險(xiǎn)。