產(chǎn)品名稱：半導(dǎo)體退火真空氣氛爐 氣氛保護(hù)爐 熱處理爐

一、概述

半導(dǎo)體退火真空氣氛爐 氣氛保護(hù)爐 熱處理爐是專為半導(dǎo)體材料及器件研發(fā)、生產(chǎn)定制的高精度熱處理設(shè)備，核心適配硅片、晶圓、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體粉體、外延片等的真空退火、氣氛退火、雜質(zhì)擴(kuò)散、氧化、還原等工藝，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、光伏等領(lǐng)域，是半導(dǎo)體材料制備與器件加工的核心裝備。

二、溫度與功率參數(shù)

· 加熱功率：約 46KW（實(shí)際功率由儀表根據(jù)熱損耗自動(dòng)調(diào)控）

· 額定溫度：700℃

· 常規(guī)使用溫度：≤650℃（溫度可調(diào)）

· 升溫速率：0-15℃/min

· 控溫精度：恒溫狀態(tài)下 ±1℃

· 分度號(hào)：K 型

三、加熱與保溫配置

· 加熱元件：電阻絲

· 加熱方式：上下分區(qū)加熱

· 溫區(qū)控制：上下獨(dú)立控溫，2 點(diǎn)精準(zhǔn)控溫

· 保溫材料：氧化鋁纖維板、氧化鋁纖維棉

· 爐體保溫：采用氧化鋁陶瓷纖維保溫結(jié)構(gòu)，搭配納米纖維材質(zhì)，有效防止熱量外溢，升溫速度快、保溫性能優(yōu)良，節(jié)能降耗。

注：半導(dǎo)體退火真空氣氛爐 氣氛保護(hù)爐 熱處理爐等其他型號(hào)規(guī)格可以根據(jù)用戶實(shí)際需求設(shè)計(jì)，價(jià)格僅參考，歡迎咨詢?cè)斦劊?510-87195028 18888033558 吳經(jīng)理。