真空電阻爐的操作規程

一、裝出工件前的檢查

1.檢查控制系統接地是否良好，各電纜絕緣層是否破損漏電。

2.測量電熱元件的對地絕緣電阻及相間電阻。

3.檢查有沒有漏水、漏氣、螺栓松動等影響設備運行的情況，設備不能帶故障運行。

4.檢查冷卻水壓力，一般不小于0.2Mpa，各水路手動閥門應打開，水流通暢。

5.檢查壓縮空氣壓力，一般不小于0.5Mpa。

6.在打開爐子前，應檢查爐內壓力是否與大氣壓力平衡。

7.合上總電源開關，應無故障指示。

8.工作前一定要熟悉工藝文件。

二、工件的裝出爐

1.在爐蓋開啟或關閉時，不得對真空密封面造成刮擦，以免破壞設備的密封性能。

2.在裝工件時，避免沖撞設備內部其它部件，造成設備的嚴重破壞。

3.工件安放位置應保證在爐子有效工作區范圍內。

4.去除爐內工件之前，應準備好待裝爐的工件，以免爐內過多次或過長時間暴露大氣而影響真空度。

三、抽真空

1.真空機組、規管及儀表處在正常工作狀態，才能啟動真空系統。

2.真空度達到羅茨泵入口真空度時才能啟動羅茨泵，否則羅茨泵不能啟動。

3.達到擴散泵前級真空度時才能給擴散泵加熱，以防擴散泵油氧化。

4.擴散泵加熱時間到，并達到預抽真空度才能打開高真空閥。

5.隨時觀察爐內真空度的變化情況。

四、加熱

1.輸入溫度控制工藝曲線。

2.爐內真空達到工作真空度時，才能通電加熱。

3.加熱過程中，觀察爐子工作情況，認真做好各項記錄。

4.爐子工作過程中發生故障，應停止加熱并請維修人員進行處理。

五、結束

1.加熱工藝結束，切斷加熱電源。

2.關真空系統：爐溫降到150℃以下，依次關高真空閥、擴散泵加熱器。

3.擴散泵冷卻時間到，關閉前級閥和前級泵機組。

4.爐子溫度低于75℃，可關閉冷卻水。

5.控制系統斷電。

六、注意事項

1.操作人員避免接觸爐子高溫部位，比如擴散泵底部，以免燙傷。

2.啟動擴散泵后，不要同時打開前級閥和預抽閥，以免氣體進入擴散泵引起擴散泵油爆燃。