真空電阻爐分為臥式和立式兩種，臥式采用工件水平裝出爐方式；立式采用工件上裝或下裝出爐方式，也就是上裝料或下裝料方式。通常小型立式真空燒結爐從頂部裝出工件，即采用下裝料方式。控制系統實現對溫度和真空過程控制，要求操作方便，工作穩定可靠，控溫精度高。

 控制系統采用PLC、計算機或智能溫度控制器，能達到較高的自動化程度。多數采用低電壓大電流加熱方式，執行器為電爐變壓器、磁性調壓器或晶匣管調功器等。設計有完備的安全連鎖裝置和超溫保護裝置，能確保真空電阻爐安全使用。

 真空電阻爐按真空度的高低分為低真空電阻爐和高真空電阻爐。低真空電阻爐的真空機組只有一級機械泵，而高真空電阻爐至少有兩級真空機組，低真空機組和高真空機組，低真空機組由機械泵和羅茨泵組成，高真空機組由擴散泵和相應的真空附件組成。

 高溫真空燒結爐一般采用水冷方式。

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